一、產品簡（jiǎn）介

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各種（zhǒng）精密（mì）器件及材（cái）料表麵進（jìn）行亞納米級測量的檢測（cè）儀（yí）器。它（tā）是以白光幹涉技術為原理、結合精密（mì）Z向掃描模塊、3D 建模算（suàn）法等對器件（jiàn）表麵（miàn）進行非接觸式掃描並建立表麵3D圖像，通（tōng）過係統軟件對器件表麵3D圖像（xiàng）進行數據處理與分析，並獲取反映器（qì）件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的（de）光學檢測儀器。

　　SuperView W1-Pro光學3D表麵輪廓儀可廣（guǎng）泛應用於半導體（tǐ）製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等（děng）超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領（lǐng）域中。可測各類從超光滑到（dào）粗糙、低反射率（lǜ）到（dào）高反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功（gōng）能

1.係統光源及壽命：雙LED光源（yuán）（白（bái）光和綠光），10萬小時超長（zhǎng）壽命，終身無需更換（huàn）；

2.測（cè）量模式：垂（chuí）直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自（zì）適應通用測量模式（USI）

3.多區（qū）域自動分（fèn）析：自動獲（huò）取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有（yǒu）自動統計分析功能。

4.一體化操作的測量與分析軟件（jiàn），操作無須（xū）進行（háng）切換界麵，預先設置好配（pèi）置參數再進行測量（liàng），軟件自動統計測量數據並提供（gòng）數（shù）據（jù）報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。

5.測量中提供（gòng）自動（dòng）多區域測量功能、批量測量、自動（dòng）聚焦、自動調亮度等自動化功能。

6.測量中提供拚接測量功能。

7.分析中（zhōng）提（tí）供調整位置、糾正、濾波、提（tí）取四大模塊（kuài）的數據處理功能，其中調整位置包括圖像（xiàng）校平、鏡像等功能（néng）；糾（jiū）正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功（gōng）能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖麵等功能。

8.分析中提供粗糙（cāo）度分析、幾何輪廓分析、結構（gòu）分析、頻率分析、功能（néng）分析（xī）等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178麵粗糙（cāo）度、ISO12781平整度等全參數分（fèn）析功能（néng）；幾何輪廓分析包括台階高、距離、角度、曲（qǔ）率等特征測量和直（zhí）線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波穀深度等；頻率（lǜ）分析包括（kuò）紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析（xī）包括SK參（cān）數和體積參數等功（gōng）能。

9.分析中同時提供一鍵分（fèn）析和多文件分析等輔助分（fèn）析（xī）功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量（liàng）測量功能，可實現對小尺寸精（jīng）密器件的批量測量並直接獲取分（fèn）析數據的功能。

三、應用領域

　　對各種產品、部件（jiàn）和材料（liào）表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形（xíng）情況、加工（gōng）情況等表麵形貌特征進行測量和（hé）分析。

半導（dǎo）體.拋光矽片（piàn）、減薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶石（shí）玻璃粗（cū）糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差（chà）
超精密加工.光學透鏡	精密加工.發動機葉（yè）片
精密加工.金字塔型金剛石（shí）磁頭	標準樣（yàng）塊.單刻線台階、多刻線粗糙度

四、應用案例：

五、樣品測試報告：

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懇請注（zhù）意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。